解吸法和鹽酸脫析法制備氯化氫工藝簡單可大規模生產,但制備的氯化氫氣體純度偏低,越來越不能滿足電子工業尤其是集成電路的要求。合成法生產的氯化氫氣體純度較高,但其中水含量高,腐蝕嚴重,對設備要求高,生產成本高。考慮到環保及丁業副產品回收利用等多方面因素,石油化工副產氯化氫提純法生產高純氯化氫確是大勢所趨,而且用這個方法無須外加反應介質,從而避免了其他雜質的引入,而且操作簡單,生產成本低。但是我國在這項技術上還不成熟。我國電子工業所用高純氯化氫大多是從美、日等國進El,且價格昂貴 ,隨著電子工業向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的發展,高純氯化氫已廣泛地應用在大規模集成電路制備中,所以我們需要對高純氯化氫的制備方法和生產工藝做進一步的研究和完善。
先后用型分子篩和型干燥劑進行了除去氯化氫中微量水深度的小試驗。試驗表明,除水深度相差不大,但JMT型干燥劑耐酸性好,在68%的硝酸中煮沸24小時,并在常溫下浸泡3個月,其晶格仍未破壞。
為了測定在吸飽HCl-H2O件下的耐酸性,曾使樣品吸HCl-H2O飽和后,用塑料袋密封放置多天,再生后再測其吸水性能,吸水量仍未下降。其耐酸性能良好。A型分子篩耐酸性能差,吸附性能大幅度下降。JMT型干燥劑是一種含硅鋁比的絲光沸石型分子篩,具有良好的熱穩定性,除在300℃前有一脫水而引起明顯吸熱峰外,在900℃前無明顯的分解峰,說明其晶格具有優良的穩定性。
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