氯化氫氣體是一種特殊的氣體，所以在運輸?shù)确矫娑加袊?yán)格的要求。今天我們一起來看的是氯化氫氣體管件的安裝要求。

    氯化氫氣體管件在安裝時，施工原則是應(yīng)盡可能地以連續(xù)式且無接口的方式進行，這樣可以減少使用接頭的數(shù)量，降低潛在的氯化氫氣體泄漏風(fēng)險。管件與管件間的連接最好以軌道式焊接法（Orbital Welding）來接合，對于不銹鋼的焊接要采用氬弧焊，并向施焊管內(nèi)通入同等純度的氬氣，這樣可以確保連接的品質(zhì)，并防止管件內(nèi)壁因不當(dāng)?shù)暮附佣练e碳，從而造成氯化氫氣體管件的污染。管件與各種配件之間的連接必須以金屬面對金屬面密封（Metal to metal face seal）的方式進行。一般晶圓廠比較常用的氯化氫氣體管路連接的接頭方式有VCR 和Swagelok兩種，具體選用形式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對高純度氯化氫氣體的用氣要求和氯化氫氣體本身特性進行選擇。一般情況下，VCR式的接頭主要用在制程氯化氫氣體以及危險氣體的傳輸上，管路連接后接頭里面的墊圈（Gasket）將會適度變形以確保管路每秒低于10 -9cc的氦氣泄漏率（Leakage Rate）[4]。不過在接合時要避免因拴得太緊而導(dǎo)致不銹鋼墊圈過度變形造成接合不良或氣體外泄。Swagelok 接頭通常用在惰性氣體、氮氣以及CDA等氣體的傳輸上，因為這些氣體可以容許一定的外泄率，所以不常用成本較高且須焊接的VCR式接頭。

    總的來說，管件的安裝原則是應(yīng)盡可能減少管件的長度、接頭和閥件的數(shù)量，因為大多數(shù)的危險氣體的泄漏都發(fā)生在施工不當(dāng)?shù)慕宇^和閥件接合處。謝謝您的閱讀，我們會給您提供更多關(guān)于氯化氫的知識，也希望您會繼續(xù)關(guān)注我們！