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近年來我們研究氣體制造的技術有了很大的發展


創建時間 2020-09-27 14:40:26

  電子級氯化氫是指純度高于99.999%的高純度氯化氫氣體。除了對純度要求較高以外,對氯化氫氣體的品質要求也非常嚴格。

  隨著微電子工業向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的飛速發展,對廣泛用于單晶硅氣相拋光和外延機座腐蝕的電子級氯化氫也有了新的要求。除了應具有99.999%以上的純度,還要求氯化氫的THC、H2O和金屬離子等有機雜質的含量越低越好。
  電子級氯化氫主要用于外延生長前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕,清除鈉離子。另外高純氯化氫也用于金屬表面化學處理,激光用混合氣、膠片生產及碳纖維表面處理。過去我國大多從美、日等國進口電子級氯化氫,但近年來,我國電子工業所需的化學氣體的研制,在技術上已有不少突破和發展。

  淄博言赫特氣經營的氯化氫于2003年10月通過北京市科委科技成果鑒定,獲得國家授權專利,具有自主知識產權。經國內外多家半導體材料生產企業在單晶硅片氣相拋光、外延基座腐蝕和硬質合金鍍膜工藝中使用證明,其主要性能技術指標與同類產品相當。如果您也需要氯化氫氣體,可以隨時聯系我們。